表面粗糙度测量仪可测量平面、圆柱面、深槽和曲面的表面粗糙度、波纹度、原始轮廓和直线度参数，还可测量工件表面微观轮廓的水平和垂直距离。

表面粗糙度测量仪主要技术指标：

1、测量原理：垂直方向为触针法，电感传感器；水平方向为直线光栅；

2、测量范围：垂直400um（1200um），水平120mm；

3、Ra示值误差：≤±5%;

4、小分辨力：垂直0.6nm，水平1um；

5、取样长度：0.08、0.25、0.8、2.5、8mm;

6、评定长度：N倍取样长度，N=1，2，3，4，5;

7、数字滤波器：高斯、2RC、PC、二乘、不滤波;

8、粗糙度测量参数：Ra,Rc,Rp,Rv,Rz,Rt,Rq,Rsm,Rsk,Rku,Rdq,Rmr；

波纹度测量参数：Wa,Wc,Wp,Wv,Wz,Wq,Wsm,Wt,Wsk,Wku,Wdq,Wmr；

原始轮廓测量参数：Pa,Pc,Pp,Pv,Pz,Pq,Psm,Pt,Psk,Pku,Pdq,Pmr；

直线度测量系统测量参数：│X2-X1│，│Z2-Z1│；

9、轮廓图形的垂直放大倍率：1-500000可选，也可手动输入；

10、轮廓图形的水平放大倍率：1-500000可选，也可手动输入；

11、驱动箱滑行速度：0.2、0.5、0.8、1.0mm/s;返回速度1.5mm/s；

驱动箱滑行长度：120mm；

12、传感器返回形式：手动/自动；

13、传感器测针：金刚石圆锥，锥角90°，针尖半径2μm;

14、基准导轨的直线性：1um/100mm；

15、立柱结构：快慢速机动升降系统，自动对准零位;

16、立柱垂直测量高度：300mm;

17、工作底台：460mm×720mm大理石平台。